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| 采購單位: | 深 (略) |
| 項目名稱: | 電子束蒸發系統 |
| 預算金額（元）: | 4,# |
| 采購品目: | 真空應用設備 |
| 采購需求概況: | 名稱：電子束蒸發系統 主要功能：高純度和均勻涂層:無油泵送系統具有至少1x10^-7托的基壓和樣品負載鎖，可產生高純度和極佳均勻性的薄膜，能夠精確控制薄膜厚度，這對于多層涂料和納米技術應用至關重要。 采購數量：1臺 質量要求： 1.不銹鋼真空腔室和真空鎖。 2.可處理最大直徑達 150 毫米的晶圓，且能 (略) 理五（5）片 75 毫米的晶圓或三（3）片 100 毫米的晶圓。 3.配有擋板的四至六個獨立的沉積源。 4.樣品基板冷卻功能。 5.樣品晶圓真空鎖。 6.無油抽氣系統；本底壓力至少為 1×10？？托。 服務要求： 1.安裝與培訓調試：供應商需提供專業的安裝調試服務，提供全面的操作培訓和維護培訓， 確保設備正常運行。 2.售后服務：？ 提供至少3年免費保修服務。 保修期內免費提供維修和更換服務。 提供24小時技術支持熱線，快速響應故障報修。 安全要求：設備需符合相關國標電器安全標準（如CE認證）。 時限要求：合同簽訂后6個月內完成交貨。 |
| 聯系人: | 張老師 |
| 聯系電話: | 0755-# |
| 預計采購時間: | 2025-05 |
| 備注: | 無 |
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