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本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排， (略) 和采購文件為準。
真空氣體組分及分壓測量裝置+真空檢漏儀+超高精度質譜儀
(略) 在采購意向：
(略) * 月政府采購意向
采購單位：
(略) (略)
采購項目名稱：
真空氣體組分及分壓測量裝置+真空檢漏儀+超高精度質譜儀
預算金額：
* . *** 萬元(人民幣)
采購品目：
A *** 其他電工、電子專用生產設備
采購需求概況：
真空氣體組分及分壓測量裝置１套，能夠檢測真空腔內不同氣體組分的分壓。主要技術指標：能對小于 * Pa的 (略) 直接檢測；氣體分壓檢測質量數要求1～ * amu；最小可檢分壓1× * - * Pa；主機分辨率M／△M＝1M（ * % P．H.）；整套 (略) 原裝標準集成機型（含標配測試軟件），可直接對 (略) 在線測量，不接受模塊拼裝設備； (略) 工程師２４小時技術支持服務。真空檢漏儀１套，能夠對真空腔體的 (略) 檢測分析。主要技術指標：可檢測氣體種類H2/He；工作方法為吸槍法和真空法；最小可檢漏率５× * -1３Pa＊ｍ３／ｓ；具備自動漏率校準功能；具備真空清氦除氣功能；具備斷電自保護功能；具備遠程控制功能； (略) 工程師２４小時技術支持服務。超高精度質譜儀１套，能夠對極限真空 (略) 氣體組分和分壓的高精度檢測。主要技術指標：氣體分壓檢測質量數要求1～ * amu；最小可檢分壓1× * - * Pa；主機分辨率M／△M＝1M（ * % P．H.）；系統靈敏度2A/Pa；整套 (略) 原裝標準集成機型（含標配測試軟件），不接受模塊拼裝設備； (略) 工程師２４小時技術支持服務
預計采購時間：
***
備注：
(略) (略)
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