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國家集成電路產(chǎn)教融合創(chuàng)新平臺(tái)特氣與大宗氣體系統(tǒng)招標(biāo)預(yù)告

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    2022-05-06
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(略) 產(chǎn)教融合創(chuàng)新平臺(tái)特氣與大宗氣體系統(tǒng)
(略) 在采購意向： (略) 2022年5至6月政府采購意向
采購單位： (略)
采購項(xiàng)目名稱： (略) 產(chǎn)教融合創(chuàng)新平臺(tái)特氣與大宗氣體系統(tǒng)
預(yù)算金額： *** 00萬元(人民幣)
采購品目：
A *** 工業(yè)氣體分離設(shè)備
采購需求概況：
1：特種氣體系統(tǒng)，包含SiH4/NH3/CL2/BCL3/DCS/CF4/N2O/SF6/Ar/O2/He/CHF3/PN2系統(tǒng)，系統(tǒng)主設(shè)備包含設(shè)計(jì)流量10~50slpm GC/GR供氣設(shè)備，以 (略) 的閥組箱、閥組盤VMB/P；2. (略) 系統(tǒng)，主管統(tǒng)一采用1/4" SUS316L EP材質(zhì)管道+隔膜閥配置，并配備相應(yīng)儀表；3.滿足本次特氣系統(tǒng)種類及環(huán)境點(diǎn)偵測(cè)使用的氣體泄漏偵測(cè)，以及整套氣體中央監(jiān)控系統(tǒng)；4.以上特 (略) (略) 需要輔助吹掃氮?dú)狻⒊檎婵盏獨(dú)狻鈩?dòng)氮?dú)猓灰?(略) 需要的動(dòng)力需求系統(tǒng)，含電力、消防水、排風(fēng)系統(tǒng)工程；5.滿足本 (略) (略) 理系統(tǒng)，含1臺(tái)電加熱+ (略) 理設(shè)備和1臺(tái) (略) 理設(shè)備；6.大宗氣體系統(tǒng)，主要為GN2系統(tǒng)， (略) 內(nèi)1臺(tái)10m3液態(tài)儲(chǔ)罐、2臺(tái)200m3/h汽化器、配套過濾器組+調(diào)壓閥組、氣站->實(shí)驗(yàn)室設(shè)備用點(diǎn)附近take- (略) 需純化器、管道管件、閥門、儀表等采購、安裝及調(diào)試；
預(yù)計(jì)采購時(shí)間：2022-06
備注：

本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項(xiàng)目情況以相關(guān)采購公告和采購文件為準(zhǔn)。



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# 特種氣體# 采購意向# 集成電路

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