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超高真空多腔室鍍膜儀招標(biāo)預(yù)告

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超高真空多腔室鍍膜儀
(略) 在采購意向：中 (略) * 年1至12月政府采購意向
采購單位：中 (略)
采購項(xiàng)目名稱：超高真空多腔室鍍膜儀
預(yù)算金額： * . *** 萬元(人民幣)
采購品目：
A *** 其他專用儀器儀表
采購需求概況：
我們擬采購的超高真空多腔室鍍膜儀，用于在金剛石，碳化硅，石英等襯底上沉積高品質(zhì)超導(dǎo)薄膜，制備高品質(zhì)因子的超導(dǎo)微波腔和超導(dǎo)電路芯片。上述器件對(duì)于構(gòu)建基于金剛石色心量子調(diào)控和量子精密測(cè)量至關(guān)重要。目前只有綜合超高真空電子束蒸發(fā)、離子清洗、原位可控氧化和退火的多腔室鍍膜儀可以滿足實(shí)驗(yàn)要求。
預(yù)計(jì)采購時(shí)間： ***
備注：

本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項(xiàng)目情況以相關(guān)采購公告和采購文件為準(zhǔn)。

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