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發布時間

2015-07-26

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( 寬禁帶紫外光電傳感器外延生長系統 )需求公示

項目名稱

寬禁帶紫外光電傳感器外延生長系統

是否預選項目

否

采購人名稱

(略)

采購方式

公開招標

財政預算限額（元）

***

項目背景

實驗室購置設備。

投標人資質要求

1）具有獨立法人資格（提供合法有效的營業執照原件掃描件，原件備查）；
2）本項目不接受聯合體投標，不允許分包，不接受投標人選用進口產品參與投標；
3）參與政府采購項目投標的供應商 (略) 賄犯罪記錄（ (略) 定期向 (略) 申請對政府采購供應商庫中注冊有效 (略) 集中查詢，投標文件中無需提供證明材料）；
4）（1.只能將國家或地方法律法規規定的資質要求作為投標人資質要求；2.不得提出投標人須提交任何形式的產品授權書或代理證的要求；3.不得違反《 (略) 經濟特區政府采購條例實施細則》第三十四條的規定。）

貨物清單

序號	采購計劃編號	貨物名稱	數量	單位	備注	財政預算限額(元)
1	PLAN- *** 327	寬禁帶紫外光電傳感器外延生長系統	1.0	批		*** .0

具體技術要求

序號	貨物名稱	招標技術要求
1	寬禁帶紫外光電傳感器外延生長系統	1.1該系統為主要由外延生長室、制備室、快速進樣系統、真空獲得系統、進樣系統、傳輸導軌、高能電子衍射系統、電器控制系統、計算機控制系統等組成。樣品在各系統之間的傳遞與交接采用“傳輸導軌車”及“機械手”配合方式。
		1.2外延生長室極限真空度：≤5.0x10-8 Pa，用一臺國際品牌無油干泵8L/S+國際品牌分子泵685L/s+ 400L離子泵+升華泵+CF150插板閥+液氮冷阱排氣；真空室整體漏率小于1.0x10-8Pa.l/S MBE生長室：系統停泵關機12小時后真空度：≤1Pa；
		1.3 系統呈立式結構， (略) 理采用新工藝，束源爐安裝大法蘭采用傾斜生長方式。真空室尺寸: 約Ф450mm×765mm（H）筒形結構，真空室壁上焊接有連接束源爐安裝法蘭、真空泵、樣品臺、高能電子衍射儀、熒光屏、觀察窗、真空規、連接制備室接口、備用法蘭等相關規格的法蘭接口。預留質譜儀接口一個。真空室液氮屏蔽冷阱組件 1套

		分子束源大法蘭上有8個CF63束源爐接口法蘭,每個束源爐都屏蔽在液氮冷阱內，防止束源爐加熱時系統內溫升過高。分子束源爐及控溫電源：8套,束源爐4套，最高加熱溫度1300度，控溫精度±0.1度，控溫其有計算機通訊接口（采用歐 * 3504控溫表+日本TDK可編程電源），可以實現計算機控制，快門及控制電源：4套。快門為旋轉式，開關速度小于0.1秒，步進電機驅動，步進電機電源有計算機通訊接口。
		1.5差分式高能電子衍射儀（RHEED）及電子衍射強度振蕩生長速率監測系統，高能電源：最高能量25KV，最大束流100μA
		1.6制備室極限真空度：≤1.0x10-6 Pa (經烘烤除氣后)；真空室整體漏率小于1.0x10-8Pa.l/S；采用：國際品牌干泵8了/s+國際品牌分子泵685了/s+離子泵機組排氣。
		1.7制備室：約Ф300mm×900mm（L）臥式筒形結構，其上焊有連接安裝離子泵、樣品貯存臺、樣品加熱臺、傳輸導軌車、觀察窗（2）、機械手(2)、真空規等各種規格的法蘭接口。樣品除氣臺組件：1套。樣品臺可對樣品加熱除氣，加熱控溫精度800C°±1C°，溫度可調可控。樣品儲存臺組件：1套。樣品儲存臺可存10塊樣品，上下移動采用波紋管密封結構，手動操縱.
		1.8快速進樣室：系統的極限真空：1.0x10-6Pa，真空室整體漏率小于1.0x10-7Pa.l/S。采用：渦旋干泵（共用外延室）+分子泵機組（共用制備室）+離子泵（25L/S）。進樣室安裝有快速進樣臺、機械手、觀察窗、排氣管道、分子泵、閘板 (略) 件。腔體尺寸Ф150×2 (略) 。
		1.9計算機控制系統：由硬件卡、計算機、軟件組成；控制的內容主要有MBE束源爐溫度及擋板控制，束源爐樣品轉動及加熱控制，RHEED監測等。

商務需求

序號	目錄	招標商務需求
（一）免費保修期內售后服務要求
1	免費保修期	貨物免費保修期 1年，時間自最終驗收合格并交付使用之日起計算。
2	維修響應及故障解決時間	在保修期內，一旦發生質量問題，投標人保證在接到通知24小 (略) 進行修理或更換。
……	其他	投標人應按其投標文件中的承諾，進行其他售后服務工作。
（二）免費保修期外售后服務要求（可選）
1
2
……
（三）其他商務要求
1	關于交貨	1.1簽訂合同后 180天（日歷日）內。
1	關于交貨	1.2投標人必須承擔的設備運輸、安裝調試、驗收檢測和提供設備操作說明書、圖紙等其他類似的義務。
2	關于驗收	1.1投標人貨物經過雙方檢驗認可后，簽署驗收報告，產品保修期自驗收合格之日起算，由投標人提供產品保修文件。
2	關于驗收	1.2當滿足以下條件時，采購人才向中標人簽發貨物驗收報告： a、中標人已按照合同規 (略) 產品及完整的技術資料。 b、 (略) 文件技術規格書的要求，性能滿足要求。 c、貨物具備產品合格證。
……
……
……

備注：

1. “（一）免費保修期內售后服務要求”部分，請詳細列明免費保修期內的售后服務要求，內容包括但不限于免費保修期限、售后服務人員配備、技術培訓方案、質量保證、違約承諾、維修響應及故障解決時間、方案等。

2. “（二）免費保修期外售后服務要求”部分，請詳細列明免費保修期外的售后服務要求，內容包括但不限于零配件的優惠率、維修響應及故障解決時間、方案、提供的服務等。

3. “（三）其他商務要求”部分，如有補充，請詳細列明。

技術規格偏離表

序號	貨物名稱	招標技術要求	投標技術響應	偏離情況	說明
1	寬禁帶紫外光電傳感器外延生長系統	系統為主要由外延生長室、制備室、快速進樣系統、真空獲得系統、進樣系統、傳輸導軌、高能電子衍射系統、電器控制系統、計算機控制系統等組成。樣品在各系統之間的傳遞與交接采用“傳輸導軌車”及“機械手”配合方式。
2*	寬禁帶紫外光電傳感器外延生長系統寬禁帶紫外光電傳感器外延生長系統	外延生長室極限真空度：≤5.0x10-8 Pa，用一臺國際品牌無油干泵8L/S+國際品牌分子泵685L/s+ 400L離子泵+升華泵+CF150插板閥+液氮冷阱排氣；真空室整體漏率小于1.0x10-8Pa.l/S MBE生長室：系統停泵關機12小時后真空度：≤1Pa；
3*	寬禁帶紫外光電傳感器外延生長系統	系統呈立式結構， (略) 理采用新工藝，束源爐安裝大法蘭采用傾斜生長方式。真空室尺寸: 約Ф450mm×765mm（H）筒形結構，真空室壁上焊接有連接束源爐安裝法蘭、真空泵、樣品臺、高能電子衍射儀、熒光屏、觀察窗、真空規、連接制備室接口、備用法蘭等相關規格的法蘭接口。預留質譜儀接口一個。真空室液氮屏蔽冷阱組件 1套
4	寬禁帶紫外光電傳感器外延生長系統	分子束源大法蘭上有8個CF63束源爐接口法蘭,每個束源爐都屏蔽在液氮冷阱內，防止束源爐加熱時系統內溫升過高。分子束源爐及控溫電源：8套,束源爐4套，最高加熱溫度1300度，控溫精度±0.1度，控溫其有計算機通訊接口（采用歐 * 3504控溫表+日本TDK可編程電源），可以實現計算機控制，快門及控制電源：4套。快門為旋轉式，開關速度小于0.1秒，步進電機驅動，步進電機電源有計算機通訊接口。
5	寬禁帶紫外光電傳感器外延生長系統	差分式高能電子衍射儀（RHEED）及電子衍射強度振蕩生長速率監測系統，高能電源：最高能量25KV，最大束流100μA
6	寬禁帶紫外光電傳感器外延生長系統	制備室極限真空度：≤1.0x10-6 Pa (經烘烤除氣后)；真空室整體漏率小于1.0x10-8Pa.l/S；采用：國際品牌干泵8了/s+國際品牌分子泵685了/s+離子泵機組排氣。
7*	寬禁帶紫外光電傳感器外延生長系統	7制備室：約Ф300mm×900mm（L）臥式筒形結構，其上焊有連接安裝離子泵、樣品貯存臺、樣品加熱臺、傳輸導軌車、觀察窗（2）、機械手(2)、真空規等各種規格的法蘭接口。樣品除氣臺組件：1套。樣品臺可對樣品加熱除氣，加熱控溫精度800C°±1C°，溫度可調可控。樣品儲存臺組件：1套。樣品儲存臺可存10塊樣品，上下移動采用波紋管密封結構，手動操縱.
8	寬禁帶紫外光電傳感器外延生長系統	快速進樣室：系統的極限真空：1.0x10-6Pa，真空室整體漏率小于1.0x10-7Pa.l/S。采用：渦旋干泵（共用外延室）+分子泵機組（共用制備室）+離子泵（25L/S）。進樣室安裝有快速進樣臺、機械手、觀察窗、排氣管道、分子泵、閘板 (略) 件。腔體尺寸Ф150×2 (略) 。
9	寬禁帶紫外光電傳感器外延生長系統	計算機控制系統：由硬件卡、計算機、軟件組成；控制的內容主要有MBE束源爐溫度及擋板控制，束源爐樣品轉動及加熱控制，RHEED監測等。

商務規格偏離表

序號	目錄	招標商務條款	投標商務條款	偏離情況	說明
（一）免費保修期內售后服務條款偏離表
1	免費保修期	貨物免費保修期 1年，時間自最終驗收合格并交付使用之日起計算。
2	維修響應及故障解決時間	在保修期內，一旦發生質量問題，投標人保證在接到通知24小 (略) 進行修理或更換。
3	其他	投標人應按其投標文件中的承諾，進行其他售后服務工作。
（一）免費保修期外售后服務條款偏離表
1
2
……
（三）其他商務條款偏離表
1	關于交貨	簽訂合同后 180天（日歷日）內。
2	關于交貨	投標人必須承擔的設備運輸、安裝調試、驗收檢測和提供設備操作說明書、圖紙等其他類似的義務。
3	關于驗收	投標人貨物經過雙方檢驗認可后，簽署驗收報告，產品保修期自驗收合格之日起算，由投標人提供產品保修文件。
4	關于驗收	當滿足以下條件時，采購人才向中標人簽發貨物驗收報告： a、中標人已按照合同規 (略) 產品及完整的技術資料。 b、 (略) 文件技術規格書的要求，性能滿足要求。 c、貨物具備產品合格證。

評標信息

序號	評分項				權重
1	價格				≥30
2	(略) 分				53-57
	序號	評分因素	權重	評分方式	評分準則
	1	技術保障措施	3	專家打分	在投標文件中詳細說明保障措施（ (略) 、技術方案、技術人員、場地、車輛等）， (略) 根據 (略) 橫向比較，按優100分，良80分，中60分，差0分打分。（采購人可根據項目具體情況設置評價因素）
	2	施工安全保障措施（僅適用于有施工要求的項目）	3	專家打分	在投標文件中詳細說明保障措施， (略) 根據 (略) 橫向比較，按優100分，良80分，中60分，差0分打分。
	3	檢測報告（僅適用于對產品有檢測要求的項目）	≤5	專家打分	因不同產品檢測要求可能不一樣，建議由采購人根據采購項目的具體情況確定需要提供的檢測報告的類別并設置評分規則，統一采用客觀評分。（檢測合格的得分，檢測不合格的或不合格項達到一定數量的不得分。）
	4	樣品/演示（可選）	≤3	專家打分	(略) 根據樣品/ (略) 橫向比較，按優100分，良80分，中60分，差0分打分。未提供樣品或未演示的該項不得分。（所有采購項目不允許要求投標人提供大樣。樣品需求只能將設計圖紙作為參考，不得放圖片和照片）
	5	技術規格偏離情況	≤50	專家打分	1. 投標人應如實填寫《技術規格偏離表》， (略) 根據技術需求參數 (略) 打分，各項技術參數指 (略) 滿足的得100分，每負偏離一項扣x分（分值根據具體技術參數的數量綜合設定）。 2. 投標人應如實填寫《技術規格偏離表》， (略) 根據技術需求參數 (略) 打分， (略) 文件要求的得60-80分（該分值由采購人設定），每正偏離一項加x分，每負偏離一項扣x分（分值根據具體技術參數的數量綜合設定）。（上述1、2由采購人根據項目具體情況選擇一種適用） 3.產品性能測試：該項僅適用于專用設備。由采購人根據項目的具體內容設定，設為客觀分。
3	商務需求				7-9
	序號	評分因素	權重	評分方式	評分準則
	1	免費保修期內售后服務條款偏離情況	5	專家評分	投標人應如實填寫《免費保修期內售后服務條款偏離表》， (略) 根據 (略) 打分，全部滿足要求的得100分，每負偏離一項扣x分。（“x”分值根據商務條款的數量綜合設定，允許對重點參數與一般參數設定不同的扣分檔次）。
	2	免費保修期外售后服務條款偏離情況（可選）	2	專家評分	投標人應如實填寫《免費保修期外售后服務條款偏離表》， (略) 根據 (略) 打分，全部滿足要求的得100分，每負偏離一項扣x分。（“x”分值根據商務條款的數量綜合設定，允許對重點參數與一般參數設定不同的扣分檔次）。
	3	其他商務條款偏離情況	2	專家評分	投標人應如實填寫《其他商務條款偏離表》， (略) 根據 (略) 打分，全部滿足要求的得100分，每負偏離一項扣x分。（“x”分值根據商務條款的數量綜合設定，允許對重點參數與一般參數設定不同的扣分檔次）。
4	(略) 分				6-8
	序號	評分因素	權重	評分方式	評分準則
	1	投標人近三年同類業績（ (略) 發布之日）	3	專家評分	提供3個同類業績即得滿分，提供2個得60分，提供1個得30分，未提供的不得分。投標人必須在投標文件中提供每一個完工項目的合同和驗收報告，否則不得分。
	2	履約評價	3	專家評分	根據 (略) 市政府采購履約評價庫中的資料打分。履約評價無差評的得100分，有差評的得0分。
	3	節能環保（可選）	2	專家評分	1、 (略) 、國家 (略) 制定的《節能產品政府采購清單》； 2、 (略) 、 (略) 制定的《環境標志產品政府采購清單》上述清 (略) 址為準。兩項都提供的得100分，少提供一項得50分，未提供的不得分。

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