A*真空獲得設備

高能同步輻射光源（HEPS）是第四代同步輻射裝置，其束流能量為6 GeV，儲存束流強度為200 mA，采用緊湊型48周期7BA磁鐵結構儲存環。在這種緊湊型設計中，磁體間緊湊的間隙限制了沿束線安裝真空泵的空間，真空盒的內徑最大僅為22毫米，傳統分散式離子泵真空獲得方式無法獲得束流所需的真空度，因此須在真空盒表面沉積非蒸散型吸氣劑（NEG）薄膜，以獲得分布式真空抽氣能力。 真空盒鍍膜難度大，技術要求高，為滿足工程需求，需進行吸氣劑鍍膜采購。